光束整形元件是將近高斯入射光轉(zhuǎn)換成一個在特定平面上的圓形，矩形，正方形，線狀或其它形狀的強度均一的輸出光斑。均一的輸出光斑使得除過曝或曝光不足的特定區(qū)域之外，可對工作面進(jìn)行相同的處理。此外，輸出光斑的特征在于有一個尖銳的過渡區(qū)，該過渡區(qū)域在已處理和未處理區(qū)域之間創(chuàng)建了清晰的邊界。對于單模激光器，我們提供以下光束整形解決方案：聚焦光束整形：混合元件（透鏡）或模塊，可在特定的工作距離（透鏡的BFL或從模塊的出口位置到頂輸出光平面的距離）上提供頂平頂（帽狀）強度分布。角光束整形：光學(xué)元件（窗口），可在任意自定義的無像差鏡頭的無窮遠(yuǎn)或焦距處提供平頂（帽狀）強度分布。M形整形器：可在掃描線上均勻曝光的光學(xué)元件（窗口）。對于多模激光器，我們提供了多種平頂漫射器，可以成形為圓形，正方形，直線和矩形輸出光斑。我們還提供3種環(huán)形整形器：渦旋透鏡，衍射軸錐和多環(huán)形整形器。