前聚焦掃描振鏡的開發(fā)是因兩軸振鏡受限于輸出物鏡的成本與大小,此限制有礙于在中等大小的掃描范圍內(nèi)產(chǎn)生較小光斑的功能。前聚焦掃描振鏡滿足客戶對于小光斑大尺寸加工范圍的應(yīng)用要求,并允許用戶在使用相同掃描振鏡的狀況下改變工作范圍(高達(dá)2000x2000mm2),距離和光斑大小。前聚焦技術(shù)也適用于移動物件的加工應(yīng)用。在三維應(yīng)用中,能夠加工非平面物件或不光滑表面以及高功率產(chǎn)品。目前這些解決方案用于 Nd:YAG, 半導(dǎo)體和CO2激光器。
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