打標(biāo)應(yīng)用中，掃描振鏡采用的反射鏡類型包含有石英基底材料，厚度在2.0和7.0 mm之間，這取決于反射鏡尺寸和角加速度。電解質(zhì)鍍膜在對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)范圍內(nèi)（例如，對(duì)于高功率半導(dǎo)體激光器和入射角兩側(cè)偏轉(zhuǎn)范圍超過±12時(shí)，在780 nm和980 nm之間）提供足夠的反射率（>98.0%）。這種反射鏡通常能承受的功率密度達(dá)500 W/cm2，對(duì)于傳統(tǒng)的打標(biāo)應(yīng)用綽綽有余。掃描頭引入其他應(yīng)用場(chǎng)合后帶來了其他挑戰(zhàn)，比如聚合物焊接。這些應(yīng)用要求對(duì)工件溫度進(jìn)行精確控制，通常通過高溫計(jì)進(jìn)行非接觸式測(cè)量。對(duì)于這項(xiàng)技術(shù)，工件的熱輻射信號(hào)必須從激光光斑位置沿激光光路返回到傳感器中，比如，通過振鏡鏡片反射回。高溫測(cè)量典型波長(zhǎng)范圍為1.7到2.2 m。由于該波長(zhǎng)范圍內(nèi)的介電層對(duì)于激光輻射是可穿透的，因此在石英基底背面加上一層鋁鍍膜便可解決問題。這里應(yīng)提醒讀者，如果要擴(kuò)展波長(zhǎng)范圍，則需要調(diào)整掃描光學(xué)系統(tǒng)。

電動(dòng)變焦聚焦鏡的一個(gè)典型應(yīng)用是3D激光掃描加工/打標(biāo)。2D普通振鏡是激光器輸出的光束先通過控制兩片高速振鏡的偏轉(zhuǎn)角, 改變激光的傳播方向,然后通過F-Theta場(chǎng)鏡聚焦到掃描平面上, 在工件表面作標(biāo)記。這種方式控制起來比較容易，但是掃描面積受到F-Theta場(chǎng)鏡的限制，而且掃描平面內(nèi)的每個(gè)光點(diǎn)的大小不一樣。中間的較小，周圍較大，而且容易產(chǎn)生枕型和腰鼓型失真。

3D振鏡分前聚焦pre-scan和后聚焦post-scan兩種，前后是相對(duì)于聚焦和掃描的順序而言。聚焦在前為前聚焦(先聚焦后掃描)，聚焦在后為后聚焦(先掃描后聚焦)。

以前聚焦3D振鏡為例，其光斑先通過聚焦鏡聚焦，然后在光束聚焦的過程中進(jìn)行掃描。電動(dòng)變焦聚焦鏡是激光處理系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)快速Z軸調(diào)光控制的最佳之選。電動(dòng)變焦聚焦鏡跟據(jù)工件平面到聚焦鏡的距離改變聚焦鏡的焦距，從而使聚焦后的光 點(diǎn)全部聚到工件所在的平面內(nèi)，達(dá)到3D聚焦的效果。前聚焦3D振鏡可以將焦距拉長(zhǎng)，從而增大了掃描面積，是目前大幅面高速掃描的最佳方案。還有一些內(nèi)雕機(jī)也是采用這種動(dòng)態(tài)聚焦的方式，速度比傳統(tǒng)的方式快的多，大約可以達(dá)到1000點(diǎn)/秒，并可以保證掃描平面內(nèi)的每一個(gè)光點(diǎn)的大小一致。